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第270章 再一次成功,跨上台阶

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    周志强是好几天都没回总厂了,而且同样是好几天没回家里去了。

    新光刻工艺的实验已经接近尾声,这两天就是不断实验的过程。

    实验车间内,一台被改进的已经和接近式光刻机相似的设备、不对,应该说本来就具备接近式光刻工艺原理的光刻设备,正准备运行。

    技术人员一边检测一边准备操作,如果这已经是周志强带人进行的第三次微调。

    如果这次失败,他们依旧要寻找修改微调的地方,成功的话,那他们就实现了半自动化生产半导体硅片。

    以后不单单是生产效率提升了一大截,就连用这台光刻设备生产出来的半导体硅片都可以让集成电路的性能大大提升。

    透镜单元一致性复检通过,误差在万分之三内;光源预热完成,功率趋向稳定,具备了实验的可行性。

    掩膜版已精确装载、对准;硅片涂胶也完成了,参数符合最开始的计算设定

    技术人员在林工的带领下,将所有仪器设备全部检查了一遍,确保所有数值都达到开始实验加工的界限后,才转头向周志强和赵成辉两人点点头。

    “开始吧,第三次加工试验。”

    “是。”

    技术操作人员也有些紧张的深呼一口气,随后便按下了启动按钮。

    在设备开始运行后,轻微的嗡鸣声响起。

    设备内部,经过无数次优化调整的匀光系统开始工作。

    慢慢的将汞灯发出的紫外光均匀化、整形,透过那面精心制作、镀膜均匀度达到新高的掩膜版,精准地投射在下方涂覆了光刻胶的硅片上

    技术操作人员也十分谨慎小心,生怕因为自己把这次实验搞砸了。

    旁边围观的人更是一点声音都不敢发出,毕竟这台新的光刻设备,是他们这么多人,用了将近半年才改良出来的成果。

    年前单单是参数计算和数据收集,就用了一个多月,年后没休息几天,项目组内的人又全员汇聚,闷在数控分厂内不断设计研发。

    到现在已经进入四月底,没几天就到了五月份,他们要是再不成功,数控系统压根赶不上总厂那边的精度。

    现在总厂项目组的进度可谓是飞快,有了两个高校的教授和技术专家支持,还有一堆懂得计算、打下手的大学生。

    这让总厂的项目组飞快的解决了一个又一个的难题,现在已经在等数控分厂的数控系统,进行联调测试.

    时间一分一秒的流逝,单单每一秒都让其它人感觉度日如年,更别说要等一分钟了。

    不过仪器上显示的代表光功率稳定性的曲线波动机器微小,没有意外出现的征兆

    “曝光完成。”

    技术操作人员在完成这一步后,立刻开口汇报道:“厂长,赵副组长,我要准备开始显影了”

    “好好,一定要稳住。”

    赵成辉闻言后连忙叮嘱道,他语气都压着激动,要不是接下来还有步骤没完成,他声音都压不住。

    接下来操作技术人员又按部就班的将后续的操作全部小心完成。

    显影后的冲洗,随后小心放到高倍显微镜下,操作技术人员这才回头松了一口气的说道:“厂长,赵副组长,已经生产完了.要不,还是你们来看吧?”

    “成辉同志,你去吧。”

    周志强笑着说道,他心中有种预感,这次的实验已经成功了,所以让赵成辉去看。

    刚才的操作的一点问题都没有,这台光刻设备也是他用收集推演助手,用符合这个时代的技术材料,推演了两遍才制造出来的。

    工艺原理上没问题,设备也没问题,操作更是谨慎的没问题,那就不可能出现失败的情况,所以周志强才会将宣布这个好消息的机会让给赵成辉。

    “那我就不客气了啊。”

    赵成辉也没退让,深呼吸一口气后,很快便凑到目镜;在他的视野中,一片在硅片上蚀刻出的微细线路图案清晰地呈现出来!

    一点瑕疵都没有,边缘陡直图案保真度极高,和掩膜版上的设计预想几乎完全一致。

    赵成辉反复看了两遍,随后才高兴抬头说道:“志强同志,成了,咱们这次的加工实验很完美,均匀性非常好!”

    “让我看看。”

    “我也要看,林工看完后让我看看.”

    其他人听到赵成辉的话后,都纷纷想要上前观看,毕竟这可是新一代光刻设备制造出来的硅片,精度较之前更高。

    距离他们上次研发出硅晶片还不过两年多,现在他们又让国内的半导体上升了一个台阶。

    这对电子工业和其他行业的影响,可以称得上跨步式前进了。

    别的不说,单单计算机的制造上,赵成辉感觉就可以让计算机的体积再次缩小,并且性能还会提升,比之前的大头机提升许多。

    还有其他能用的上半导体的电子工业,都可以尝试更新换代了。

    “同志们,测试,最后这一步千万别忘了。”

    周志强的开口,压下了在场所有人心中的激动,让他们想起来虽然加工制造出来了新的硅片,但还没经过测试呢。

    于是连忙有技术人员,连忙操作起显微镜配套的测量系统,一项一项的开始测试起新的硅片黑精度。

    “套刻精度优于.五微米!?”

    “线宽均匀性.整片的波动小于百分之四!”

    等所有的测试都完成后,试验车间内才响起热烈的欢呼庆祝声。

    虽然和之前的项目比起来,这次才忙了不到半年,已经算快的。

    但取得的成就可一点不见少,他们在半导体器件的制造精度上,又快要追上国际一流的水准了。

    现在说不定比他们强的,也只有阿美这一个国家了。

    不过这也是周志强的推测,毕竟半导体这方面在西方国家,也是保密程度比较高的,对他们都是禁运的。

    但是禁运就禁运吧,现在他们国内已经研发出不输于世界一流的半导体制造工艺了。

    “静一静,各位同志们。”

    周志强挥手让车间内欢呼的技术人员们安静下来,随后大声宣布道:“我们成功迈出了最艰难的第一步,但这仅仅是开始!

    实验室的成功,距离稳定的大规模工业生产,还有很长的路要走,接下来,我们要进行更密集、更严苛的重复性测试稳定性。”

    “成功率之后是良品率,还有工艺标准等各种‘硬骨头’等着咱们。

    接下来还要辛苦你们一段时间,等忙完这些工序流程后,我亲自去你们厂找刘厂长,厚着脸皮让他给你们放个假”

    “那真是谢谢你了,志强。”

    赵成辉顿时笑着说道:“我还想带家人去公园转转,你可得跟瑞光同志好好说说,至少给我们来三天假吧。”

    周志强大手一挥的说道:“三天那够.五天,刘厂长要是不同意,我就死赖他的办公室不走了!”

    “周厂长好样的!”

    “五天就真的太好了,那我们等周厂长你的好消息了。”

    “感谢周厂长”

    其他人纷纷笑着说道,他们在数控分厂的时候,除了生病外几乎没休息过,连着三个月都是从白天忙到晚上。

    五天假一点都不过分,周志强就算是弯腰也得给他们要来。

    “没问题,到时候你们等我消息。”

    周志强说完后看了一眼手表,发现都快接近一点了,刚才忙着实验,都忘了中午吃饭的时间。

    于是周志强又对众人说道:“中午了,各位同志们先去吃饭,接下来有什么任务,等吃完饭再外派.”

    经周志强这么一提醒,实验车间内的众人也反应过来肚子有点饿。

    本来就聚精会神的忙了一上午,刚才是因为紧张忽略了,现在被提醒才反应过来腹中饥饿。

    于是车间内的众人便立刻做一些收尾工作,清理设备,还准备好了下一批硅片,同时记录刚才记录下来的数据等等。

    做完这些后,周志强才和众人一块向食堂走去。

    来到食堂的时候都一点半了,按理说这时候早就没饭。

    但周志强和田文国都提前叮嘱过,实验车间的人吃饭没准时,不管是中午饭还是晚上饭,一定要提前预留出一批。

    所以周志强一行人去食堂的时候,还能吃到正热着的饭菜。

    虽然味道不如刚出锅那会,不过能吃到热乎的已经不错了。

    数控分厂没有好的大厨,他们能给的条件待遇一般,财政条件都不如总厂好,伙食这块也就是合格的大锅菜,说不上特别好,也不会太差。

    “成辉同志,制造新的光刻设备机器,以及培训技术人员这方面,我想先拜托给你了。”

    吃完饭后,周志强将赵成辉喊到办公室里,对他说道:“接下来我要投入设计新的集成数控系统,需要忙的事情也挺多对了,你还要把王工和他们小组给我。”

    虽然他要了几个计算机研究所的人,但王工他们也熟悉集成数控系统,有他们加入能缩短设计时间。

    “你这家伙,又要人还分配给我这么繁琐的任务.”

    赵成辉笑了笑后,点头说道:“行吧,都成功制造出新的接近式光刻机器设备,接下来的事也不算很忙。

    这块我帮你担起来,等你那边结束后,我在放手还给你。”

    周志强笑着说道:“行,那拜托你了。”

    等和赵成辉敲定了接下来的任务以及细节后,赵成辉便去忙了。

    周志强又喊来田文国,跟他说了一下这个消息,接下来厂里要慢慢的进行培训和改变生产工序,这些都需要田文国这个厂长配合。

    虽然他不太懂技术,但他这个厂长主管生产,往那一站就是配合。

    周志强要忙着接下来的设计研发,忙的根本没时间冒头。

    ——————

    计算机研究所,所长办公室。

    办公桌上的电话突然响起,打断了郭所长正在处理事务的思路。

    不过他还是拿起电话接了起来,开口道:“喂,计算机研究所郭治林.什么?又提升了?”

    “数控分厂.我想起来了,这不是九洲机床总厂的分厂吗,之前找我们所要了几个技术人员去帮忙研发设计集成数控系统。”

    “他们厂研究出来的新光刻设备,能达到这么高的精度?”

    郭治林听到电话另一边技术司赵副司长对他说的新硅片参数后,惊讶的都倒吸一口凉气。

    提升了不少啊,要是用在计算机上.那也能带来巨大的提升,计算性能和使用功耗方面就能跨一个大台阶。

    这样的话,他们所对于计算机就要重新设计了,争取研发出更好,性能更高的计算机。

    “赵副司长,你帮我联络一下,我想带几个人去数控分厂看看.五个、七个人吧,我把相关人员都带上,然后跟他们厂的厂长好好聊聊。”

    这么好的东西,怎么也要给他们计算机研究所供一批吧;他不多要,给一半产量就成。

    挂断电话后,郭所长便起身去找人安排了,等部里一回电话,他这边就立刻出发。

    一辆吉普车缓缓的开到九洲机床总厂的大门口。

    保卫人员上前一看,确认里面是周厂长后,便连忙示意放行。

    车开到厂办大楼下面,周志强便开门下车,跟司机说了在厂里休息后,才向楼上走去。

    来到自己办公室门口的时候,周志强刚好碰到抱着一摞文件、走出他办公室的张耀国。

    “厂长,你回来了?”

    张耀国面露惊喜的说道:“我刚才准备将这些文件送到李书记那,真是赶巧了,厂长。”

    “我倒是觉得下午再回来也行了,至少不用处理这么多文件了.好家伙,才四天吧,攒了多少份要报告的?”

    周志强打量了一下文件高度后摇头说道,他都想是不是先回数控分厂,然后下午再回来。

    张耀国开口说道:“这是一半,还有一半我还没搬,一次性办不完。”

    “.”

    周志强推门进去后,看到办公桌上还有一摞文件,便叹口气。

    他这个厂长怎么感觉比部长还要忙,估摸着吴副领导办公桌上,也没有他这的文件多吧。
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